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光电子能谱仪

发布日期:2016-06-02 浏览量:

设备名称:光电子能谱仪

设备型号:Escalab 250Xi

生产国家:美国

生产厂家: Thermo Fisher

启用时间:2016年5月

设备价值:500万

技术参数:

真空系统性能:5×10-10mbar

单色器最佳空间分辨率:≤20microns

单色器最佳能量分辨率:≤0.45eV

单色器(大面积)能量分辨率400000cps(FWHM≤0.50Ev)

应用说明:

      Escalab 250Xi型电子能谱仪是一台多功能高性能的表面分析仪器,它可以用于研究各种固体材料样品表面1-10nm厚度)的元素种类、化学价态以及相对含量。结合离子刻蚀技术还可以获得元素及化学态深度分布信息;通过成像技术可以获得元素及化学态的面分布信息;利用微聚焦X射线源或电子束可以获得微区表面信息。在金属、玻璃、高分子、半导体、纳米材料、生物材料以及催化等领域有广泛应用。本仪器以X射线光电子能谱为主要功能,还带有俄歇电子能谱、紫外光电子能谱、反射电子能量损失谱及离子散射谱等附件功能。

  主要功能特点如下:

     常规XPS,鉴别样品表面的元素种类、化学价态以及相对含量。双阳极XPS,更适合用于不同的特殊过渡金属元素的研究,如催化领域;微区XPS分析(单色化XPS),用于样品微区(>20μm)表面成分分析,高能量分辨的化学态分析;深度剖析XPS,结合离子刻蚀技术对样品(如薄膜等)进行成分深度分布分析。通过角分辨XPS还可以进行非损伤成分深度分布分析;XPS成像,可以对元素或化学态进行表面面分布分析,使一些分析结果更直观;反射电子能量损失谱REELS技术,可实现氢元素的检测;离子能量损失谱ISS,可实现样品表面元素信息的检测;场发射俄歇AES,可实现样品表面100nm尺寸下的元素信息检测??梢越谐煞址治?、形貌像分析及扫描俄歇像分析等;紫外光电子能谱(UPS),可以获得样品价带谱信息,对导体、半导体的能带、带隙等分析提供主要数据?;箍梢苑治鲅芬莩龉Φ?。

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