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激光共聚焦显微镜

发布日期:2014-12-10 浏览量:
激光共聚焦显微镜
设备名称: 激光共聚焦显微镜
设备型号: OLS 4000
生产国家: 日本
生产厂家: OLYMPUS
启用时间 :2011年
操作人员: 霍文霞
性能参数
一、主机性能

*  激光自动聚焦,对焦快速而精确;
*  自动六孔物镜换镜转盘,可配套多种物镜;
*  标准配套100x100 mm 超声波电动载物台,可实现最多500幅图像自  动拼图;
*  标准配套5×、10×、20×、50×和100×物镜,其中20×、50×和100×物镜均为405nm专用复消色差物镜;
*  水平方向分辨率可达0.12μm,Z轴方向分辨率达0.01μm;
*  激光可以实现激光共焦、激光共焦微分干涉等观察方式;
*  激光光源为405nm半导体激光器,安全等级CLASS2;
*  普通光源为3W 高亮LED光源;
*  激光图像感应装置为Photo multiplier(光电倍增管);
*  微镜调焦采用物镜升降的方式,而非常见的载物台升降调焦的方式,可以最大程度保证镜体的稳定性;
*  主机具有自动防震功能,不需搭配防震台使用;
*  “一键”拍摄功能,只一个按键即可自动拍摄照片;
*  丰富多彩的2D/3D图像显示方式,3D图像通过鼠标操控可自由旋转和放大;
*  自动报告生成功能;
*  数字图像处理,可以实现边缘增强、对比增强、滤波、剖面校正、快速傅立叶变换等功能;
*  可以实现对倾斜的样品校正水平;
*  自带操作软件可以实现中、英、日、德、韩五种语言选择  
*  具备丰富的测量功能:可以实现长度、高度、面积、体积、粗糙度、膜厚、颗粒等多种测量;
二、主要功能

1、微观二维形态图像(2-D Morphologic)获取
   以405nm短波长半导体激光为光源,通过显微镜内高精度扫描装置对样品表面的二维扫描,获得水平分辨率高达0.12μm的表面显微图像,同时通过CCD采集彩色图像信息,合成高分辨率真彩色形态(Morphologic)图像。目前,OLYMPUS采用独家开发的MEMS(微机电)工艺制造的扫描系统,不仅寿命很长,而且精度更加可靠。
2、微观三维形态图像(3-D Morphologic)获取
   通过显微镜高精度步进马达驱动和0.8nm光栅控制的聚焦装置,运用共聚焦技术(Confocal),逐层获取样品各个二维图像和焦面的纵向空间坐标。经计算机处理,将各个焦平面的显微图像叠加,获得样品表面的三维真实形态(近似SEM扫描电镜的Morphologic图像)。
3、微观三维轮廓与地形图像(3-D Profile,3-D Topography)获取
    将扫描获得的样品表面各个点的三维空间坐标经计算机处理后,可获得垂直分辨率0.01μm的三维轮廓图像(近似三维表面形貌仪的图像)和三维地形图像(近似AFM 原子力显微镜的图像)。
4、多种测量功能      
   可以测量亚微米级的线宽、面积、体积、台阶、线与面粗糙度、透明膜厚,几何参数等测量数据??勺魑呔炔饬可璞?,符合国际计量追溯体系(ISO)。附加金相插件,可做金相分析。
5、OLS4000具备常规显微镜的功能,多种观察方法:BF,DIC??缮兜皆恿ο晕⒕担ˋFM)。

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